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  • IGBT(绝缘栅双极晶体管)的结构特点与技术趋势
    • 发布时间:2020-05-04 17:43:19
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    IGBT(绝缘栅双极晶体管)的结构特点与技术趋势
    在节能环保趋势的推动下,绝缘栅双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT)近几年已经成为半导体行业的耀眼明星,广泛应用于轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新能源装备等领域。
    在新能源汽车的控制系统中,IGBT约占整车成本的7-10%,是电池之外成本第二高的元器件,也是决定整车能源效率的关键组件,主要用于电机驱动、发电机、空调部分。在直流充电桩中,IGBT占原材料成本的30%;而电力机车一般需要500个IGBT模块,动车组需要超过100个IGBT模块,一节地铁需要50-80个IGBT模块。
    IGBT晶体管结构特点
    从结构看,IGBT的输入端为MOSFET结构,输出部分为BIPOLAR结构,属于MOSFET和BIPOLAR的复合体,既是使用电子与空穴两种载体的双极元件,同时也是兼顾低饱和电压(与功率MOSFET的低导通电阻相当)和较快的开关特性的晶体管。只不过,BIPOLAR适用于中速开关,MOSFET则适用于高频领域,IGBT开关特性逊于功率MOSFET。
    绝缘栅双极晶体管
    功率元器件的基本结构与特点
    作为一种功率半导体元器件,IGBT在电路中的功能相当于一个用电压控制的电子开关,表现出高耐压、小饱压降,以及节能、安装维修方便、散热稳定等特点,用在电压几十到几百伏量级、电流几十到几百安量级的强电场合。
    使用时,一般通过脉冲宽度调制(PWM)的方式控制IGBT开关,将电流从DC转换到AC(电池到电机,驱动电机)或者从AC转化到DC(电机到电池,刹车、下坡时能量回收),给负载使用。因此,IGBT是能源变换与传输的核心器件,俗称电力电子装置的CPU。
    IGBT应用优势
    IGBT最常见的形式其实是模块(Module),而不是单管。其中,空心塑壳封装,与空气的隔绝材料是高压硅脂或者硅脂,以及其他可能的软性绝缘材料。IGBT器件采用同一个制造商、同一技术系列的产品,IGBT模块的技术特性与同等规格的IGBT单管基本相同。
    绝缘栅双极晶体管
    功率半导体的应用范围
    IGBT模块的主要优势有以下几个:
    (1)多个IGBT芯片并联,IGBT的电流规格更大。
    (2)多个IGBT芯片按照特定的电路形式组合,如半桥、全桥等,可以减少外部电路连接的复杂性。
    (3)多个IGBT芯片处于同一个金属基板上,等于是在独立的散热器与IGBT芯片之间增加了一块均热板,工作更可靠。
    (4)一个模块内的多个IGBT芯片经过了模块制造商的筛选,其参数一致性比市售分立元件要好。
    (5)模块中多个IGBT芯片之间的连接与多个分立形式的单管进行外部连接相比,电路布局更好,引线电感更小。
    (6)模块的外部引线端子更适合高压和大电流连接。同一制造商的同系列产品,模块的最高电压等级一般会比IGBT单管高1-2个等级,如果单管产品的最高电压规格为1700V,则模块有2500V、3300V乃至更高电压规格的产品。
    IGBT技术关键
    IGBT目前已经发展到7.5代,第7代由三菱电机在2012年推出,三菱电机目前的水平可以看作7.5代,同时IGBT的下一代SiC技术已经在日本全面普及,无论三菱这样的大厂还是Fuji、Rohm这样的小厂都有能力轻松制造出SiC元件,我国目前停留在第三代水平上,差距在20年以上。
    绝缘栅双极晶体管
    IGBT技术关键发展节点
    IGBT的关键有两点,一是散热,二是背板工艺。
    IGBT的正面工艺和标准BCD的LDMOS没区别,区别在背面,背面工艺有几点,首先是减薄,大约需要减薄6-8毫米,减得太多容易碎片,减得太少没有效果。接下来是离子注入,注入一层薄磷做缓冲层,第四代需要两次注入磷,本来硅片就很薄了,两次注入很容易碎片。然后是清洗,接下来金属化,在背面蒸镀一层钛或银,最后是Alloy,因为硅片太薄,很容易翘曲或碎片。英飞凌特别擅长减薄技术。
    自第六代以后,IGBT自身的潜力已经挖掘的差不多了,大家都把精力转移到IGBT的封装上,也就是散热。这主要有四点:
    第一,就是提高IGBT模块内部的导热导电性能、耐受功率循环的能力,IGBT模块内部引线技术经历了粗铝线键合、铝带键合再到铜线键合的过程,提高了载流密度。
    第二,新的焊接工艺,传统焊料为锡铅合金,成本低廉、工艺简单,但存在环境污染问题,且车用功率模块的芯片温度已经接近锡铅焊料熔点(220℃)。解决该问题的新技术主要有:低温银烧结技术和瞬态液相扩散焊接。与传统工艺相比,银烧结技术的导热性、耐热性更好,具有更高的可靠性。
    瞬态液相扩散焊接通过特殊工艺形成金属合金层, 熔点比传统焊料高,机械性能更好。三菱则使用超声波焊接。
    第三,改进DBC和模块底板,降低散热热阻,提高热可靠性,减小体积,降低成本等。以AlN和AlSiC等材料取代DBC中的Al2O3和Si3N4等常规陶瓷,热导率更高,与Si材料的热膨胀系数匹配更好。此外,新型的散热结构,如Pin Fin结构和Shower Power结构, 能够显著降低模块的整体热阻,提高散热效率。
    第四,就是扩大模块与散热底板间的连接面积,如端子压接技术。
    绝缘栅双极晶体管
    IGBT的应用领域
    在新一代IGBT产品中,SiC(碳化硅)技术已经崭露头角,这是提高新能源汽车效率最有效的技术,效率提高可达10%,其功效“与汽油发动机同等重要。”虽然价格是传统Si产品的6倍,SiC型IGBT在新能源汽车和智能网联汽车中的作用却越来越重要。预计在新能源汽车领域示范应用后,SiC型IGBT将很快推广到其他工业和消费应用中。
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